பிளாஸ்மா எட்சர் கொள்கை

தூண்டுதலால் இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா எட்ச் (ICPE) என்பது இரசாயன மற்றும் இயற்பியல் செயல்முறைகளின் கலவையின் விளைவாகும். அதன் அடிப்படைக் கொள்கை என்னவென்றால், வெற்றிட மற்றும் குறைந்த அழுத்தத்தின் கீழ், ICP RF மின் விநியோகத்தால் உருவாக்கப்பட்ட ரேடியோ அலைவரிசையானது டொராய்டல் இணைப்புச் சுருளுக்கு வெளியீடு ஆகும். ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தில் ஒரு கலப்பு பொறித்தல் வாயு ஒரு பளபளப்பான வெளியேற்றத்துடன் இணைக்கப்பட்டு, அதிக-அடர்த்தி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. கீழ் மின்முனையில் உள்ள RF இன் செல்வாக்கின் கீழ், இந்த பிளாஸ்மா அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் குண்டு வீசுகிறது, அடி மூலக்கூறின் வடிவமைக்கப்பட்ட பகுதியில் குறைக்கடத்தி பொருளின் வேதியியல் பிணைப்புகளை உடைக்கிறது. இந்த ஆவியாகும் பொருட்கள் செதுக்கல் வாயுவுடன் வினைபுரிந்து ஆவியாகும் சேர்மங்களை உருவாக்குகின்றன, பின்னர் அவை அடி மூலக்கூறிலிருந்து வாயுக்களாகப் பிரிந்து வெற்றிடக் கோட்டிலிருந்து வெளியேற்றப்படுகின்றன.