பிளாஸ்மா கிளீனர்களின் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்

பிளாஸ்மா துப்புரவு/பொறித்தல் இயந்திரங்கள் மின்புலத்தை உருவாக்குவதற்கு சீல் செய்யப்பட்ட கொள்கலனில் இரண்டு மின்முனைகளை வைப்பதன் மூலம் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகின்றன. ஒரு குறிப்பிட்ட வெற்றிட அளவை பராமரிக்க ஒரு வெற்றிட பம்ப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வாயு பெருகிய முறையில் அரிதாகி வருவதால், மூலக்கூறுகள் மற்றும் மூலக்கூறுகள் அல்லது அயனிகளின் இலவச இயக்கத்திற்கும் இடையே உள்ள தூரம் அதிகரிக்கிறது. மின்சார புலத்தின் செல்வாக்கின் கீழ், இந்த அயனிகள் மோதி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகின்றன. இந்த அயனிகள் அதிக வினைத்திறன் கொண்டவை, ஏறக்குறைய அனைத்து வேதியியல் பிணைப்புகளையும் உடைக்க போதுமான ஆற்றலுடன், வெளிப்படும் எந்தப் பரப்பிலும் இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தூண்டும். வெவ்வேறு வாயு பிளாஸ்மாக்கள் வெவ்வேறு வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மா மிகவும் ஆக்சிஜனேற்றம், வாயுவை உருவாக்க ஒளிச்சேர்க்கையை ஆக்ஸிஜனேற்றும் திறன் கொண்டது, இதனால் ஒரு துப்புரவு விளைவை அடைகிறது. அரிக்கும் வாயு பிளாஸ்மா சிறந்த அனிசோட்ரோபியைக் கொண்டுள்ளது, இது செதுக்கலின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது. பிளாஸ்மா சிகிச்சையானது ஒரு பளபளப்பை உருவாக்குகிறது, எனவே பளபளப்பு வெளியேற்றம் என்று பெயர்.
பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்யும் பொறிமுறையானது மேற்பரப்பு கறைகளை அகற்ற பிளாஸ்மாவில் செயலில் உள்ள துகள்களை "செயல்படுத்துவதை" முதன்மையாக நம்பியுள்ளது. எதிர்வினை பொறிமுறையின் அடிப்படையில், பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்வது பொதுவாக பின்வரும் செயல்முறையை உள்ளடக்கியது: கனிம வாயுக்கள் பிளாஸ்மா நிலைக்கு உற்சாகப்படுத்தப்படுகின்றன; வாயு பொருட்கள் திடமான மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படுகின்றன; உறிஞ்சப்பட்ட குழுக்கள் திடமான மேற்பரப்பில் உள்ள மூலக்கூறுகளுடன் வினைபுரிந்து தயாரிப்பு மூலக்கூறுகளை உருவாக்குகின்றன; தயாரிப்பு மூலக்கூறுகள் வாயு கட்டத்தில் சிதைகின்றன; மற்றும் எதிர்வினை எச்சங்கள் மேற்பரப்பில் இருந்து அகற்றப்படுகின்றன.

பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தின் மிக முக்கியமான அம்சம் என்னவென்றால், உலோகங்கள், குறைக்கடத்திகள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் பாலிப்ரோப்பிலீன், பாலியஸ்டர், பாலிமைடு, பாலிவினைல் குளோரைடு, எபோக்சி மற்றும் பாலிடெட்ராபுளோரோஎத்திலீன் போன்ற பெரும்பாலான பாலிமர் பொருட்கள் உட்பட எந்த அடி மூலக்கூறு வகையையும் இது கையாள முடியும். இது முழு மேற்பரப்பு மற்றும் குறிப்பிட்ட பகுதிகள் மற்றும் சிக்கலான கட்டமைப்புகள் இரண்டையும் சுத்தம் செய்யலாம்.